气相沉积炉整体结构采用井式碳化炉结构。主要由炉体系统、控制系统、真空系统、冷却系统、进气系统、过滤系统、操作平台等部分组成组成。 　　气相沉积炉系统主要由炉盖、炉体、炉底、保温层、发热体、引电体组成，炉壳为圆柱形结构，分炉体和炉顶盖、炉底三部分，主要使用Q235钢材，炉体、炉盖、炉底均为夹层水冷结构，夹层内设置蛇形导流板，既可以引导水流流向又可以加强炉体壁抗压能力，炉体上设置电极座、测温座。抽气口位于炉顶盖或炉体侧壁上。 　　加热及保温层，发热体采用带式合金发热体，分三个加热区，三角形加热，分布在炉腔四周;保温层：采用全纤维炉衬复合保温结构，既可以让炉膛整洁成型又可以保持良好的保温性能，成型后的保温层分别固定在炉壁、炉盖上，操作与维护非常方便。 　　气相沉积炉的炉胆采用高温耐热钢，为保证高温真空下的工作强度，采用双真空结构。炉胆内外同时抽真空，并设置手动及自动压差阀。考虑真空放电现象，采用低电压大电流的供电方式。

　　如何将真空烧结炉抽真空?下面，小编就请洛阳八佳电气科技股份有限公司的***技术人员来为大家讲讲。 　　首先，紧闭真空阀门，启动机械泵，待运转正常后，打开通向真空烧结炉的低真空阀，预先对炉体进行抽气，应缓慢打开阀，避免机械泵的排气口处有油喷出。 　　其次，抽真空的同时，打开低真空阀，对扩散泵抽气，当达到要求的真空度后，先开启真空烧结炉扩散泵上的冷却水，然后加热扩散泵，扩散泵起作用后，关上真空阀，打开大真空阀，当真空度达到标准时，对电炉进行通电加热。 　　*，要停止抽真空，应先将高真空阀关闭，然后停止加热，1个半小时后，关闭真空阀，关闭机械泵。在扩散泵完全冷却后，再切断冷却水的供应。