真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。下面，洛阳八佳科技小编就为您介绍真空烧结炉的应急措施. 　　一. 冷却水异常 　　1、确认加热电源已停止。 　　2、炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却下来。 　　3、冷却水发生异常时，设备处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。 　　4、在高温(超过200℃即视为高温)时，如果冷却水停止了，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。 　　二 压缩空气的停止 　　1、压缩空气异常报警时，设备处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让其恢复工作。 　　2、真空中如压缩空气异常报警，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让设备停下来。 　　三 停电 　　1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。 　　2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。 　　3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。 　　四 加热电源掉电 　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。 　　4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。 　　五 充气气体(氩气或氮气)停止 　　1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请确认气体管路是否被堵塞。 　　2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。 　　3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。 　　4、确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。 　　六 真空室压力恶化 　　1、真空排气时间比通常长时，应把设备停下来进行检查，根据真空室内构造物不同状态下放气的影响，也有导致压力升高的情况。 　　2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。 　　在真空和保护性气氛中，对金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末加热烧结，要获得一定密度和具有一定机械性能的材料时，一般采用两种工艺;即有压烧结和无压烧结。有压烧结工艺是将粉状材料置于真空和保护性气氛中的高碳模具中，高温加热到软化状态时，加压成型。这种工艺需要一种真空热压烧结才能实现。该烧结炉具有温度高、真空度高、热压力高的特点。目前这种炉型在我国还未见定型产品。

　　真空烧结炉应用领域 　　真空烧结炉主要用于钨合金、碳化硅、钼合金、钛合金和硬质合金等及碳素材料的真空反应烧结。 　　2017年真空烧结炉价格影响因素：真空烧结炉主要配置 　　炉门：铰链回转式;手动锁紧/自动锁圈锁紧 　　炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢 　　炉胆：软碳毡+硬质复合毡 / 全硬质复合毡 　　加热器材质：等静压石墨/模压三高石墨 　　炉体：立式/卧式 　　气路控制：体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产 　　真空泵和真空计：进口/国产 　　料车：滚道式/叉车式 　　操作面板：模拟屏/触摸屏/工控机 　　PLC：欧姆龙/西门子 　　控温仪表：岛电/欧陆 　　热电偶：C分度号(钨套管/钼套管/陶瓷套管) 　　记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产 　　电器元件：正泰/施耐德/西门子 　　真空烧结炉技术特征 　　真空烧结炉采用特殊的炉胆结构和加热器布置，炉温均匀性好。 　　真空烧结炉采用特殊结构脱脂箱，密封效果好，脱脂完全，对炉内元件无污染。 　　真空烧结炉具备柔性抽真空、真空烧结、微正压烧结、分压烧结、微正压脱脂等功能; 　　真空烧结炉采用*的隔热结构和材料，炉胆隔热性能好,蓄热少，比传统设计节能20%以上。 　　真空烧结炉采用触摸屏操作，PLC集中控制，操作简单，可靠性高。 　　真空烧结炉具有超温超压等故障报警，机械式自动压力保护，动作互锁等功能，设备安全性高。 　　真空烧结炉具备远程操作、远程故障诊断和远程软件升级等功能。 　　洛阳八佳电气科技股份有限公司主要产品大型真空熔炼速凝设备、真空烧结设备、气氛保护烧结设备、多晶硅铸锭设备、高温石墨化设备、气相沉积设备、熔盐电解设备等在全国永磁材料产业、钨钼材料产业、光伏产业、碳/碳复合材料产业、高纯金属和特殊合金产业均处于*地位。