真空速凝炉的真空系统和组成其机组的优势有哪些呢?
发布时间:2017-10-20 浏览:2055次
真空速凝炉的真空系统和组成其机组的优势有哪些呢?
就真空速凝炉的真空系统来说,其能迅速地将真空速凝炉的真空度抽到规定的要求。及时排出被处理工件和炉内构件所释放出的各种气体,以及因真空泄漏而渗入炉体内的气体。还有一点就是,真空机组占地面积小,运行安全可靠,操作简便。
真空速凝炉的真空系统通常由真空获得设备(真空泵机组)、控制真空组件和测量真空组件所组成的。真空泵机组是根据炉子工作压力和抽气量的大小,分别选配不同的低真空泵、中真空泵、高真空泵和超高真空泵。真空组件或元件是在真空炉体和真空泵机组之间配备的各种真空组件或真字元件,如管路、密封圈、法兰、波纹管、冷阱、过滤器和阀门等。真空测量系统,如真空规管、真空压力表和其他真空测量仪表。真空检漏仪器、真空控制仪器、充气装置等。
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